集成电路的互连线材料偏激勉展
2024-09-30摘 要: 集成电路(Integrated Circuits)的快速发展，导致对互连线的材料要求更高，互连线的问题成为了集成电路的商酌热门。尤其是当电路的特征尺寸越来越小的时候，互连线引起的多样效应是影响电路性能的热切要素。本文发达了传统金属铝以及合金到现在主流的铜以及正在发展的新式材料———碳纳米管手脚互连线的优劣，并对新式光互连进行了先容。 0 小序 如今，集成电路(Integrated Circuits，IC)朝着高密度和低功耗标的发展，IC 中器件的特征尺寸日益减小，当代集成电路不错集成